Toto zařízení je vhodné pro předúpravu plátků před aplikací lepidla. Systém se skládá z komory, vakuového systému, topného systému, systému proplachování dusíkem, systému dávkování kapalin a řídicího systému. Prostřednictvím několika vakuových cyklů a zahřívání horkým dusíkem na 150 °C zařízení účinně suší a čistí povrch plátku, čímž zabraňuje oxidaci a difúzi nečistot. Systém dávkování kapaliny může také nanášet na povrch destičky ochranný film HDMS, což má za následek vynikající aplikační vlastnosti lepidla. Ve srovnání s ručním potahováním HMDS nabízí tento systém významné výhody, jako je dobrá opakovatelnost, snížená spotřeba chemikálií, šetrnost k životnímu prostředí a bezpečnost pro lidské zdraví. Může být také použit pro čištění waferů v jiných procesech. Řídicí systém využívá PLC a rozhraní člověk-stroj využívá dotykovou obrazovku, která nabízí vysokou spolehlivost, snadné ovládání a intuitivní ovládání.
Ve výrobních procesech polovodičů (čipů/integrovaných obvodů) je fotolitografie zásadním krokem při přenosu vzoru integrovaných obvodů. Kvalita fotorezistového povlaku přímo ovlivňuje kvalitu fotolitografie, takže proces povlakování je obzvláště důležitý. Většina fotorezistů používaných ve fotolitografii je hydrofobních, zatímco hydroxylové skupiny a zbytkové molekuly vody na povrchu křemíkového plátku jsou hydrofilní. To má za následek špatnou adhezi mezi fotorezistem a křemíkovým plátkem, zvláště u pozitivních fotorezistů. Během vývoje může vývojka proniknout rozhraním mezi fotorezistem a křemíkovým plátkem a snadno způsobit jevy, jako je odlupování a plavání fotorezistu, což vede k selhání přenosu fotolitografického vzoru. Mokré leptání je zároveň náchylné k bočnímu leptání. Po předúpravě systémem předúpravy HMDS se na povrch substrátu nanese sloučenina na bázi siloxanu. Povrch plátku se změní z hydrofilního na hydrofobní, čímž se sníží kontaktní úhel, sníží se množství potřebného fotorezistu a zvýší se přilnavost k fotorezistu. To zabraňuje bočnímu leptání a posunu vzoru během procesu vývoje, zlepšuje přilnavost fotorezistu a zvyšuje odolnost materiálu proti korozi v drsném prostředí, čímž se výrazně zlepšuje kvalita produktu a snižuje se četnost defektů.
Cíl procesu:
Zařízení pracuje plně automaticky pomocí řízení PLC. Proces zahrnuje vysokoteplotní vypalování substrátu k odstranění povrchové vlhkosti v kombinaci s vakuovým sušením a technologií ochrany dusíkem k odstranění vlhkosti a kontaminantů z povrchu plátku, zabránění oxidaci a difúzi nečistot a zajištění čistoty před potažením. Potom se zavede plyn HMDS (hexamethyldisilazan C6H19NSi2). Při vysoké teplotě povrch substrátu a HMDS plně reagují a tvoří sloučeninu primárně složenou ze siloxanu. To mění povrch substrátu z hydrofilního na hydrofobní, což umožňuje hydrofobní skupině dobře se vázat s fotorezistem a působí jako spojovací činidlo.
Průběh procesu:
Nejprve se zapne vakuové čerpadlo, aby se začalo vysávání. Jakmile úroveň vakua v komoře dosáhne nastavené hodnoty (tuto hodnotu lze nastavit změnou hodnoty P2 na vakuometru, viz manuál vakuometru), je zaveden dusík. Po dosažení nastavené úrovně vakua (tuto hodnotu lze nastavit změnou hodnoty P1 na vakuometru) se proces vakuování a zavedení dusíku opakuje. Po dosažení nastaveného počtu zavedení dusíku se znovu zahájí vakuování, po kterém následuje zavedení chemického roztoku. Po uplynutí nastavené doby se zavádění chemického roztoku zastaví a začne fáze výdrže. Po nastavené době zdržení začne znovu vakuování a zavádění dusíku po nastavený počet cyklů. Jakmile systém automaticky dokončí proces, spustí se zvukový a vizuální alarm, který signalizuje, že plátky jsou připraveny k odebrání.
① Materiál vnějšího pláště: Vyrobeno z vybraného vysoce kvalitního ocelového plechu válcovaného za studena (Q235), přesně tvarovaného CNC obráběním. Povrch je ošetřen fosfátováním a antistatickou práškovou barvou, čímž vzniká robustní skořepina. Je antistatický, odolný proti korozi a poškrábání a zajišťuje trvalou kvalitu;
② Vnitřní komora: Vnitřní komora je vyrobena z kartáčované nerezové oceli 304, s certifikací materiálu (k dispozici je zpráva o materiálu), odolná proti korozi a snadno se čistí;
③ Ovládací panel: Špičkový barevný dotykový ovladač zobrazující klíčové parametry, jako je teplota a čas v reálném čase. Inteligentní výzvy k informacím o poruchách a alarmech poskytují jasné a intuitivní ovládání;
④ Pozorovací okénko: Panoramatické velkoúhlé pozorovací okénko s použitím 8mm vnějšího a 20mm vnitřního dvouvrstvého tvrzeného skla, odolného vůči vysokým teplotám a vysoce průhledného, jasně zobrazující celý vnitřek komory v reálném čase, díky čemuž je stav experimentu jasný na první pohled;
⑤ Police: Standardní pochromované mřížkové police odolné proti korozi, dostupné také v různých materiálech a strukturách pro flexibilní přizpůsobení různým experimentálním potřebám;
⑥ Izolační vrstva: Prostor mezi vnějším pláštěm a pracovní komorou je vyplněn 80 mm silnou vysoce čistou bavlnou z keramických vláken (Al₂O₃), která poskytuje vynikající tepelnou izolaci, výrazně snižuje tepelné ztráty, zajišťuje stálou teplotní stabilitu a vysokou energetickou účinnost;
⑦ Těsnící proužek: Je vybaven na zakázku tvarovaným těsnícím kroužkem ze silikonové pryže, s obvodovou konvexní liniovou strukturou a jedinečnou technologií aktivního vakuového rozbití. Okamžitě vytváří kanál během uvolnění tlaku, což výrazně zlepšuje účinnost vakuového rozbití a zajišťuje, že dvířka lze snadno otevřít po uvolnění tlaku;
⑧ Topná trubka: Zakázková topná trubka z nerezové oceli SUS304 s ultra dlouhou životností, s volitelnou policí/okolní topnou strukturou, přesně přizpůsobená procesu, zajišťující rovnoměrné a účinné vytápění;
⑨ Vstupní/výstupní ventily: Celoměděné vakuové ventily, snadné a citlivé na ovládání a spolehlivé těsnění;
① Tento systém automaticky provádí naprogramované cykly konstantní teploty, vysokého vakua a čištění inertním plynem podle předem nastavených parametrů; přesně řídí časování vstřikování kapaliny a udržování tlaku; a poskytuje zvukové a vizuální signály po dokončení procesu.
② Barevná dotyková obrazovka: Vybavena standardní barevnou obrazovkou a dotykovým ovládáním, které zobrazují parametry, jako je nastavená teplota, provozní teplota, doba konstantní teploty a informace o poruchách na jediné obrazovce; dynamické nastavení parametrů PID s funkcemi, jako je rychlost odezvy a potlačení překmitu teploty;
③ Používá mikropočítačový regulátor teploty P.I.D s ochranou proti překročení teploty, ochranou proti překročení rychlosti a dotykovým displejem a obsahuje funkci časování;
④ Více režimů časování: 1. Časové jednotky lze volně přepínat mezi minutami a hodinami; 2. Dva režimy časování: časování od zapnutí a časování po dosažení konstantní teploty;
⑤ Vybaven vysoce přesným odporovým silikonovým vakuovým senzorem, který je stabilní a spolehlivý a detekuje stupeň vakua uvnitř komory v reálném čase, poskytuje přesnou podporu dat a zaručuje přesné procesy;
⑥ Vylepšený mikropočítačový čip pro skenování prostředí se zvukovým a světelným alarmem se stabilními schopnostmi zpracování dat;
⑦ Mezi funkce patří alarm při přehřátí, vypnutí ohřevu při přehřátí, časované vypnutí, obnovení po zapnutí, paměť parametrů, korekce teploty a automatické ladění;
⑧ Funkce obnovení po výpadku napájení: Pokud dojde k náhlé ztrátě externího napájení a následnému obnovení, zařízení může automaticky obnovit provoz podle původně nastaveného programu;
⑨ Automatické ladění: Pokud je přesnost regulace teploty nepřesná kvůli změnám okolní teploty, lze provést automatické ladění, aby byla teplota přesnější;
⑩ Více režimů lze libovolně přepínat: přepínání režimu s pevnou hodnotou/režimu časování.
| Model | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Řídicí systém | Průmyslový počítač PLC | ||
| Interakce člověk-počítač | 7palcový barevný dotykový ovladač | ||
| Snímač teploty | PT100 Platinum RTD | ||
| Teplotní rozsah | RT 10-200℃ | ||
| Rozlišení teploty | 0,1 ℃ | ||
| Kolísání teploty | ≤±0,5℃ | ||
| Rozsah časovače | 0-9999 min | ||
| Programová skupina | 100 skupin / 100 segmentů na skupinu | ||
| Zabezpečení dat | Řízení přístupu úrovně 3, auditní záznam | ||
| Inteligentní zabezpečení | Autotest při zapnutí, alarm přehřátí a přerušení topení, korekce odchylky teplotního senzoru, zámek obrazovky. | ||
| Směr časování | Odpočítávání/odpočítávání | ||
| Časovací jednotka | Minuta/hodina | ||
| Vakuové měřidlo | Odporový silikonový vakuoměr | ||
| Maximální vakuum | ≤100Pa | ||
| Rychlost čerpání | 2L/S | ||
| Napájecí napětí | AC 220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Jmenovitý výkon | 2 kW | 3 kW | 3,2 kW |
| Vnitřní rozměry | 410x370x345mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| Vnější rozměry | 610x525x1285mm | 660x590x1470mm | 670x650x1630mm |
| Hlasitost | 52L | 91 l | 150L |
| Standardní police | 2 | 2 | 3 |
| Hrubá/Čistá hmotnost | 152/138 kg | 185/165 kg | 235/205 KG $ $ |
| Ne. | Jméno | Parametry | Referenční fotografie |
| 1 | Scroll Vacuum Pump | ① Bezolejové čerpadlo | |
| 2 | Filtr olejové mlhy | ① Filtruje olejovou mlhu z vakuového čerpadla |  |
Produkty poskytované slavnými podniky jsou uživateli hluboce důvěřovány.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , je high-tech podnik integrující výzkum a vývoj, výrobu, prodej a služby. Specializujeme se na výrobu špičkového laboratorního vybavení, včetně pecí, inkubátorů, průmyslových pecí a ekologických zkušebních komor.
As a We se mohou pochlubit moderním výrobním závodem o rozloze 8 000 metrů čtverečních, specializovaným týmem pro výzkum a vývoj, 23 národními patenty a certifikací systému managementu kvality ISO-9001. Naše řešení jsou široce používána v nejmodernějších oblastech, jako je letecký průmysl, polovodiče, biomedicína, automobilový průmysl a nové materiály. Navázali jsme hloubková partnerství s předními univerzitami a předními průmyslovými společnostmi, dodáváme naše produkty a vyvážíme do mnoha zemí a regionů po celém světě.
Dodržujeme zásady „Integrity, Innovation, and Win-Win“, jsme odhodláni stát se vaším důvěryhodným partnerem se spolehlivou kvalitou a specializovanými službami.
Vítáme dotazy a spolupráci ze strany nových i stávajících zákazníků, kteří poskytují profesionální řešení vybavení.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Zpět na začátek
